复合式无尘车间的有点体现在哪里：

　　复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

　　(1)洁净地道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%笼盖使洁净度等级进步至10级以上，可节省安装运转用度。此型式需将功课职员之 工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。

　　洁净地道另有二项长处：A.弹性扩充轻易； B.维修设备时可在维修区等闲执行。

　　(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经由的自动出产线包抄并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和功课员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁 净度，可节省能源，不需人工的自动化出产线为最相宜使用。药品、食物业界及半导体业界均合用。

        (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级进步为10~1000级以上，认为出产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。