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发布时间:2018-01-17  文章编辑:新美装饰  点击数: 245 次

无尘车间RCA Method详细说明

无尘车间RCA Method详细说明

 

(1)DIWater               需要 5分钟

   

(2)H2SO4:H2O2=3:1        烧到10至20分钟,达到75至85℃,就可以去金属、有机、油

 

(3)DIWater               需要5分钟

 

(4)HF:H2O                需要10至30秒,就可以去除自然氧化层,英文叫:Native Oxide

 

(5)DIWater               需要5分钟

 

(6)NH4OH:H2O2;H2O=1:1:5  烧到10至20分钟,达到75至85℃,去除金属和有机

 

(7)DIWater               需要5分钟

 

(8)HCl:H2O2:H2O=1:1:6    烧到10至20分钟,达到75至85 ℃  去除离子

 

(9)DIWater               需要5分钟

 

(10)Spin Dry             完成

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