无尘车间RCA Method详细说明

（1）DIWater               需要 5分钟

（2）H2SO4:H2O2=3:1        烧到10至20分钟，达到75至85℃，就可以去金属、有机、油

（3）DIWater               需要5分钟

（4）HF:H2O                需要10至30秒，就可以去除自然氧化层，英文叫：Native Oxide

（5）DIWater               需要5分钟

（6）NH4OH:H2O2;H2O=1:1:5  烧到10至20分钟，达到75至85℃，去除金属和有机

（7）DIWater               需要5分钟

（8）HCl:H2O2:H2O=1:1:6    烧到10至20分钟，达到75至85 ℃  去除离子

（9）DIWater               需要5分钟

（10）Spin Dry             完成