发布时间:2018-01-17 文章编辑:新美装饰 点击数: 1424 次
无尘车间RCA Method详细说明
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(1)DIWater 需要 5分钟
(2)H2SO4:H2O2=3:1 烧到10至20分钟,达到75至85℃,就可以去金属、有机、油
(3)DIWater 需要5分钟
(4)HF:H2O 需要10至30秒,就可以去除自然氧化层,英文叫:Native Oxide
(5)DIWater 需要5分钟
(6)NH4OH:H2O2;H2O=1:1:5 烧到10至20分钟,达到75至85℃,去除金属和有机
(7)DIWater 需要5分钟
(8)HCl:H2O2:H2O=1:1:6 烧到10至20分钟,达到75至85 ℃ 去除离子
(9)DIWater 需要5分钟
(10)Spin Dry 完成