电子行业的无尘车间和其他行业的无尘车间的静电控制可分为两大类：高湿度实际上减少了无尘车间和洁净室表面静电积聚，这是理想的结果。较低的湿度更适合于电荷累积，并且成为潜在的破坏性静电放电源。

当相对湿度超过50％时，静电荷开始迅速消散，但当相对湿度小于30％时，它们会在绝缘体或未接地表面上长时间存在。35％至40％之间的相对湿度可用作令人满意的折衷方案。

半导体无尘车间和洁净室净化工程通常使用额外的控制装置来限制静电荷的积累。包括腐蚀过程在内的许多化学反应的速率会随着相对湿度的增加而增加。在无尘车间和洁净室周围暴露在空气中的所有表面都可以快速覆盖至少一层水。

当这些表面由可与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度可加速反应。幸运的是，一些金属，如铝，可与水形成保护性氧化层，防止进一步氧化;但是另一种情况，例如氧化铜，不是保护性的，因此铜表面在高湿度环境中更容易腐蚀。